Лабораторията разполага с инсталации за получаване на тънки наноразмерни слоеве чрез химическо отлагане от паро-газова фаза при ниско и високо налягане (LP CVD и HP CVD), както и с инсталация за синтез на наноструктури, включително графенови структури, и за вграждане на квантови точки в нанопокрития с цел модифициране на техните свойства. На разположение са също инсталации за термично окисление на силиций и за дифузия на легиращи примеси в полупроводникови пластини, както и камера с инертна атмосфера за специализирани измервания в среда, изолирана от околната.
За тестване на изготвените образци лабораторията разполага със стендове за цялостно електрическо, оптично, механично и структурно характеризиране на микро- и наноелектронни и микроелектромеханични системи.
В лабораторията се провеждат упражнения за бакалаври и магистри от четири факултета по дисциплините „Тънкослойна електроника“, „Микроелектронни технологии за алтернативни източници на енергия“, „Материалознание в микроелектрониката“, „Производствени процеси в микроелектрониката“, „Технологии за микро- и наносистеми“, „Технология на микроелектромеханичните системи“, „Производствени процеси в електронната индустрия“, „Дисплеи“ и др.
В лабораторията се изпълняват дейности по технологично ориентирани проекти, както и обучение на докторанти по научните специалности „Технология на електронното производство“ и „Интегрална схемотехника, материали, технологии и специално обзавеждане“.
Ръководител:
