Лабораторията разполага с вакуумни инсталации за получаване на тънки наноразмерни слоеве от проводникови, полупроводникови и диелектрични материали чрез три различни технологични метода. Тези технологии намират широко приложение в електрониката и микроелектрониката. Налични са също инсталации за термично окисление на силиций и за дифузия на легиращи примеси в полупроводникови пластини.
В лабораторията се провеждат практически упражнения и лабораторни занятия за студенти от бакалавърски и магистърски програми в четири факултета. Те са свързани с дисциплини като „Материалознание в микроелектрониката“, „Технологии за микро- и наносистеми“, „Производствени процеси в микроелектрониката“, „Практикум“, „Технология на микроелектромеханичните системи“, „Производствени процеси в електронната индустрия“, „Дисплеи“ и други.
В лабораторията се изпълняват дейности, свързани с технологично-ориентирани проекти и се обучават докторанти по научната специалност „Технология на електронното производство“.
Ръководител:
